MarSurf | 輪郭および表面測定ステーションの組み合わせ

MarSurf UD 130

Art. no. 6720823

MarSurf UD 130は、ハイエンドソリューションのMarSurf LD 130 / LD 260と、2つのドライブユニットを備えた新しい標準的なコンビネーション測定ステーションMarSurf VD 140 / 280の間のギャップを埋めるものです。
MarSurf UD 130の技術仕様は、高品質な干渉計プローブシステムと、高速な測定・位置決め速度により、各ワークの測定時間を短縮したことが特徴です。

MarSurf UD 130
• 粗さと輪郭をワンステップで実現
• 測定と位置決めの高速化
  測定時間を劇的に短縮

• 革新的なプローブシステム ソリューション
• 磁気フィクスチャーによるプローブアームの同時検出で
 、迅速かつ確実な交換が
 可能
MarSurf UD 130 | Art. no. 6720823
分解能 2 nm
ラバース長の始点 (X) 0.1 mm
測定速度 0.1 mm/s ~ 5 mm/s;
粗さ測定用
0.1 mm / s〜0.5 mm / sが推奨されます
ラバース長のエンド (X) 130 mm
位置決め速度 0.1 mm/s ~ 30 mm/s
トラバース長 0.1 mm~ 130 mm
ガイド偏差 0.12 μm / 60 mm
0.40 μm / 130 mm
測定力 [N] 1 mN ~ 30 mN、ソフトエアで調整可能
プローブ 標準プローブLP-D14-10-2/60°
プローブアームの長さ 100 mm; 150 mm; 200 mm
重量 23 KG
測定範囲

10 mm(100 mmプローブアーム)
20 mm(200 mmプローブアーム)

幅広いワークピースに対応
非常に小さなワークピース から非常に大きなワークピースまでの測定が可能
複合測定方法
広い測定領域と非常に高い解像度により、粗さと輪郭の測定をワンステップで実現
短い測定時間
測定と位置決めの高速化により劇的に測定時間を短縮
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