MarSurf | Weißlichtinterferometer

Die neue Präzision für
extrem glatte Oberflächen

MarSurf | Weißlichtinterferometer

Minimale Rauheiten auf den Nanometer genau

In der Medizintechnik, Halbleiterindustrie, optischen Industrie und anderen Branchen werden immer häufiger extremst glatte Oberflächen mit bestimmten Eigenschaften gefordert. Hier kommen die Stärken der neue Mahr Weißlichtinterferometer zum Einsatz.

  • ICA-Technologie
    Ein speziell entwickelter Algorithmus sorgt für die beste Korrelation

  • Optimales Signal-Rausch-Verhältnis
    Minimales Rauschen von nur 80 Pikometern

  • Von manuell bis vollautomatisiert
    Drei Geräte mit vielfältigen Einsatzmöglichkeiten

  • Großes Positioniervolumen
    Flexibles Messen von großen oder aufgespannten Bauteilen

ICA-Technologie

Durch einen ausgeklügelten Algorithmus, der sogenannte ICA-Technologie, werden die guten Eigenschaften der PSI- und VSI-Methoden kombiniert.
Das starke mathematische Verfahren bestimmt das statistische Korrelogramm der Oberfläche und schiebt es zum Vergleich „über“ die Messungen.

  • Verwendung von Phaseninformation und Amplitude
     
  • Keine Mittelung der Messdaten
     
  • Dank ICA-Technologie: maximale Stabilität und hohe Genauigkeit

Minimales Rauschen
von nur 80 Pikometern

Dadurch, dass ICA eine so exakte Bestimmung der Höhenwerte ermöglicht, minimiert sich gleichzeitig das Rauschen, was für eine sehr hohe Datenqualität sorgt.
Durch dieses sehr gute Signal-Rausch-Verhältnis erreicht die Mahr Technologie das Qualitätslevel eines PSI mit nur 80 Pikometern (STR-Surface-Topografie-Repeatability), hat dabei aber eine deutlich bessere Stabilität und höhere Zuverlässigkeit.


Von manuell bis automatisiert

Das Portfolio der MarSurf WI Serie umfasst drei Geräte mit spezifischen Vorteilen für die Kunden.
 

  • WI 50 M: manuelle Allround-Einstiegslösung für anspruchsvolle Messaufgaben
     
  • WI 50:  hochpräzises Messtool für Forschung und Qualitätsmanagement
     
  • WI 100:  automatisierbares Profi-Gerät mit erweiterter Z-Achse für besonders große Werkstücke

Großes Positioniervolumen


Die Geräte MarSurf WI 50M und WI 100 verfügen über einen erweiterten Arbeitsbereich in XY- und besonders in Z-Richtung für große Probevolumina: Beispiel WI 100: Einfach die seitliche zusätzliche manuelle Z-Achse verfahren und XXL-Bauteile messen.
 


Das motorisierte High-End-Gerät MarSurf WI 100 zeichnet sich durch einen erweiterten Arbeitsbereich in XYZ-Richtung aus – einfach die seitliche Verstellung betätigen, mit der sich die zusätzliche manuelle Z-Achse verfahren lässt. Somit können auch eingespannte Bauteile im Werkzeughalter vermessen werden.

 

Intuitive Benutzersoftware

Messen, darstellen, auswerten: Mit den umfassenden Softwarelösungen von Mahr gelingt das intuitiv und effektiv. Eine Software für Interferometer, konfokale Mikroskope und Profilometer. Weitere Vorteile:

  • Schnelles und sicheres Messen durch intuitive Bedienung
  • Klare und flexible Visualisierung der Ergebnisse 
  • Automatisierungsmöglichkeiten für effiziente Serienmessungen

Die MarSurf 3D-Software ist seit vielen Jahren im Einsatz und etabliert. Beliebte Funktionen zur einfachen Messung sind:  

  • Snapshot-Technologie, um mit wenigen Klicks die Messung durchzuführen
  • Pre-Scan-Funktion zur schnellen Auswahl des Messbereiches 
  • Auto-Intensity und Auto-Range zur Unterstützung der Nutzer
  • Template-Funktion für wiederholende Messungen
  • Multi-Spot-Tool, um mehrere Messungen automatisiert durchzuführen
Klare Darstellung der Ergebnisse und einfache Dokumentation für Rauheiten, Welligkeiten und vieles mehr:
  • Hochwertige 3D-Darstellung zur schnellen Übersicht
  • 2D- und 3D-Analyse nach gängigen Normen (ISO 4287, 25178, 13565 ...)
  • Geometrie, Volumen, Kontur, CAD-Vergleich
  • Einfache Dokumentation mit on-the-fly bzw. nachträglicher Analysemöglichkeit im Bericht

 

Messungen und Auswertungen automatisieren mit der MarSurf Automation Software

  • Benutzerunabhängige Serienmessungen
  • Industrietauglichkeit
  • Verschiedene Messaufgaben und Auswertungen an einer Probe in einem Messrezept
  • Protokollerstellung, SPC-Kontrolle, QS-Stat-Ausgabe

Eine Philosophie

Ganz gleich, für welches Mahr Messsystem Sie sich entscheiden: Die dazugehörige Software kennen Sie womöglich schon. Denn Mahr setzt bei allen Systemen der MarSurf 3D-Baureihe grundsätzlich auf dasselbe, klar strukturierte Software-Design, das sich vielfach in der Praxis bewährt hat.

MarSurf WI | Vorstellung

Die neuen Interferometer im Fokus

Im Interview links werden kurz und knapp die Hauptvorteile der neuen Interferometer erklärt. Die einzelnen Produkte und weitere Informationen sowie Videos finden Sie in unserem Showroom.  

zum Showroom

Applikationen

Damit jedes Bauteil die maximale Performance leistet, müssen seine Oberflächen immer häufiger spezielle Charakteristika aufweisen. Das betrifft Formabweichungen und Rauheiten ebenso wie Welligkeiten oder geometrische Merkmale. Unsere Systeme finden Anwendungen in folgenden Branchen: Optik, Medizintechnik, Halbleiterindustrie, Oberflächentechnik, Materialwissenschaft, Mikrosystemtechnik u.v.m.


Partikelanalyse

Erkennung und Klassifizierung von Partikeln, Körnern, Furchen, Texturen, Hügeln und Tälern

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Abstandsmessungen

Umfangreiche horizontale Distanzmessungen (x;y), Winkellagen und Neigungen

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2D-Rauheit (Rz)

Profilrauheit nach ISO 4287, ISO 13565, ASME B46.1, ISO 12085, VDA, SEP- o. MBN-Normen

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Volumen (V)

Volumenberechnungen von Mulden, Hügeln, Tälern, Spitzen und Partikeln

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Form

Formabweichung von planaren Konturen, Soll-/Istvergleich gegen CAD-Daten, Rundheitsauswertung gemäß ISO 12181

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3D-Rauheit

Flächenhafte Rauheitsauswertungen gemäß ISO 25178

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Ebenheit

Bestimmung der Ebenheit einer Gesamt- oder Teiloberfläche z.B. gemäß  ISO 12781

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Error

Erkennung und Analyse von Defekten, Oberflächenunvollkommenheiten und Beschädigungen

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Höhe

Distanzmessungen (z), Bestimmung von Maximal- und Durchschnittshöhen sowie Positionsdifferenzen

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Visuelle Betrachtung

Live-Betrachtungen  oder fotosimulierte Darstellungen in den Auswertungen sowie 3D-Betrachtungen

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Konturanalyse

Bestimmung von Radien, Kreisen, Kreisabschnitten sowie Winkelermittlung inkl. Auswertung von Halb- oder Gesamtwinkeln

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Profilabweichungen

Linienhafte Abweichungen gegenüber einer Sollkontur sowie Geradheits-Parameter gemäß ISO 12780

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Beschichtung

Direkte Schichtdickenbestimmung bei transparenten Oberflächen, bei opaque Oberflächen wird die Schichtdicke über eine Stufenhöhenanalyse bestimmt

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Fläche (A)

Berechnung von Flächeninhalten bei Spitzen und Mulden sowie Ermittlung von maximalen Erhebungen/Vertiefungen

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Die neuen Mahr Weißlichtinterferometer

Das MarSurf WI 50 M ist die manuelle Einstiegslösung in die neue Mahr Weißlichtinterferometrie. Die Steuerung ist im Stativ integriert, und der funktionale Kipptisch und die manuellen x-, y- und z-Achsen erleichtern Anwendern die Verstellung und Fokussierung. Weitere Pluspunkte sind das kompakte Design und der große Bauraum, ebenso wie ein interessantes Preis-Leistungs-Verhältnis.

 

Die beiden Oberflächenprofis für den Nanometerbereich MarSurf WI 50 und WI 100 liefern 3D-Messwerte schnell und in wenigen Schritten. Ihre HD-Stitching-Funktion sorgt für eine konstant hohe Auflösung auch bei großen Messflächen. Die integrierte Kollisionsdetektion bietet Sicherheit in alle Richtungen – für das Werkstück ebenso wie für das Gerät selbst.
Das High-End-Gerät MarSurf WI 100 verfügt zusätzlich über motorisierte Achsen für wiederkehrende Messaufgaben.

Sie haben Interesse an unseren Produkten?
Wir nehmen gern Kontakt zu Ihnen auf!

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