Filtry profilu rozdělí profil na dlouhovlnné a krátkovlnné složky.
S-filtr profilu odstraní krátkovlnné složky, L-filtr profilu odstraní dlouhovlnné složky.
Index vnoření Nic (dříve cut-off λc) definuje přechod od drsnosti k vlnitosti.
Střední čára vznikne s fázově korigovaným filtrem tím, že se vytvoří vážený průměr pro každé místo profilu.
Váhová funkce udává pro každé místo profilu, s jakým hodnotícím faktorem jsou sousední body profilu zahrnuty do průměrování (Gaussova zvonová křivka).
R-profil (profil drsnosti) je odchylka primárního profilu od střední čáry S-filtru profilu. Střední čára je při zobrazení profilu drsnosti nulová čára.