Les filtres de profil séparent les profils en composantes de longueur d'onde longue et composantes de longueur d'onde courte.
Un filtre S de profil élimine les composantes de longueur d'onde courte, tandis qu'un filtre L de profil élimine les composantes de longueur d'onde longue.
L'indice d'imbrication Nic (autrefois appelé « cut-off » λc) correspond à la longueur d'onde limite entre la rugosité et l'ondulation.
Un filtre à phase correcte génère une ligne moyenne en créant une valeur moyenne pondérée pour chaque position du profil.
La fonction de pondération indique pour chaque position de profil le facteur d'analyse avec lequel les points de profil adjacents sont pris en compte dans la création de la valeur moyenne (courbe en cloche de Gauss).
Le profil R (profil de rugosité) est l'écart du profil primaire par rapport à la ligne moyenne du filtre S de profil. Dans la représentation du profil de rugosité, la ligne moyenne est la ligne du zéro.