Los filtros de perfil separan un perfil en componentes de onda larga y de onda corta.
Un filtro de perfil S elimina los componentes de onda corta, mientras que un filtro de perfil L elimina los de onda larga.
El índice de anidamiento Nic (antes, corte λc) define la transición de la rugosidad a la ondulación.
La línea central surge en el caso de un filtro de fase correcta cuando se crea un promedio ponderado para cada punto del perfil.
La función de ponderación indica, para cada punto del perfil, el factor de ponderación que se utiliza para incluir los puntos de perfil contiguos en la formación del promedio (campana de Gauss).
El perfil R (perfil de rugosidad) es la desviación del perfil primario respecto a la línea central del filtro de perfil S. Al representar el perfil de rugosidad, la línea central es la línea cero.