Filtros de perfil separam um perfil em partes de onda longa e onda curta.
Um filtro de perfil S remove os componentes de onda curta, um filtro de perfil L remove os componentes de onda longa.
Índice de agrupamento Nic (antes cut-off λc) define a transição de rugosidade para ondulação.
Mediana surge com um filtro de correção de fase, onde um valor médio ponderado é estabelecido para cada ponto do perfil.
Função de ponderação indica para cada ponto do perfil, qual é fator de avaliação dos pontos de perfil vizinhos considerado para o cálculo do valor médio (curva de Gauss).
Perfil R (perfil de rugosidade) é o desvio do perfil primário da mediana do filtro de perfil S. Na representação do perfil de rugosidade, a mediana é a linha zero.